microwave electron cyclotron
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微波电子迥旋加速度
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-
1、
The new advances of microwave electron cyclotron resonance plasma technology
电子回旋共振等离子体技术新进展
来源：互联网摘选 -
2、
使用三氟甲烷和苯的混合气体，利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备了F/C比在011&062之间的αC∶F薄膜。
来源：互联网摘选 -
3、
微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用
来源：互联网摘选
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- primary electron 一次电子;初级电子;原电子
- pulse saturated channel electron multiplier 脉冲饱和通道式电子倍增器
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